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Please use this identifier to cite or link to this item: http://tustr.lib.tust.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/1092

Title: 單軸向導電膜片探針卡之研究
Authors: 徐文月
Contributors: 機電工程研究所
Keywords: 單軸向導電膜
探針卡
有限元素分析
過壓行程
平衡接觸力
Anisotropic conductive film
Overdrive
Balanced contact force
Finite element analysis
Date: 2014-07-30
Issue Date: 2014-08-14 11:27:50 (UTC+8)
Abstract: 本研究提出一種結合以微細金屬銅線、精密繞線及層疊技術的製程方法,用以製作『單軸向導電膜片(Anisotropic conductive film,簡稱ACF)』,同時量測其接觸力與電阻值。並嘗試建立有限元素分析模型,以模擬量測過程解釋量測值變異現象。此外,本研究亦嘗試將導電膜片組裝成探針卡,對Echo IC進行測試,以驗證可行性。研究顯示,本法可以成功地製作出長30 mm,寬30 mm,厚1 mm的單軸向導電膜片,其中微細金屬銅線直徑25 µm,呈現週期50 µm平行排列。過壓行程低於50 µm時,其『平衡接觸力』為5.2~15.7 gf/25 µm。過壓行程大於50 µm時,接觸力呈現飽合,飽合值約12.5~25 gf。由有限元素模擬結果可推論量測結果的變異來自於“針尖落點相對於導電膜上微細銅線之間的偏移”。導電膜片的穩定『訊號路徑電阻』值約為23.5~26 mΩ。導電膜片組裝成探針卡後,可成功地對Echo IC進行9項功能測試,測試500顆之測試良率可以達90%。
Appears in Collections:[機電工程系(所)] 學位論文

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